GB 9506.6-1988 掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-27 03:52:04
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基本信息
| 标准名称： | 掺氮吸气剂钡膜分布测试方法 |
| 英文名称： | Test method for barium film distribution of nitrogen-doped getter |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 电子设备专用材料、零件、结构件 >> 电子技术专用材料 |
| ICS分类： | |
| 替代情况： | SJ 2162-1982;被GB/T 25495-2010代替 |
| 发布部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 1988-06-25 |
| 实施日期： | 1988-01-02 |
| 首发日期： | 1988-06-25 |
| 作废日期： | 2011-05-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 电子部741厂 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1988-01-02 |
| 页数： | 5页 |
适用范围
本标准规定了掺氮吸气剂钡膜分布测试方法，适用于测定沉积在模拟玻壳颈、锥、屏上钡膜的重量分布和锥、屏上钡膜的厚度分布。测试方法应符合GB 9506.1《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定。
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所属分类： 电子元器件与信息技术 电子设备专用材料 零件 结构件 电子技术专用材料
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